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液晶関連機器
液晶関連機器
第8世代対応の大型液晶用ホットプレート、 ベーキング装置を
設計、製作


* 特長

 

第8世代の大型液晶ガラス基板(2500 x 2200)に対応した液晶製造用ベーキング装置。

ガラス基板加熱の温度均一性に優れ、従来より、軽量・薄型、省エネルギー化を実現しました。

* 大型液晶対応の省エネ・軽量・薄型ホットプレート

* ガラス基板加熱の温度均一性がさらにUP!

 
ガラス基板加熱 [°C] 温度レンジ [°C]
   60 ~ 80 R<1.2
  80.1~100 R<1.5
100.1~130 R<2.0
130.1~150 R<2.5
150.1~180 R<3.0
 

* 大型のものについては多分割ゾーン制御で高性能化。

* 使用するホットプレートの詳細は「ホットプレート」のページを参照して下さい。

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