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幸和電熱計器

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K-MSX
K-MSX
薄膜 膜厚・組成 X線測定装置
K-MSX


* 装置概要

* 装置の特長

* 装置の機能について

* 装置仕様

 
膜厚測定、密度測定、組成比測定などX線を使用して測定する事ができます。
測定用途に合わせたX線ユニットを選択することができます。
大気にて測定を行い、装置サイズも約1m²、メンテナンス性とコストフォーマンスの
高い製品です。

K-MSX
X線測定

* XRR(X線反射率)は密度,組成,電気伝導率,光の誘電率・吸収率,結晶構造等
の影響が無く絶対値を測定可能です。

* XRF(蛍光X線)はAlからUまでの元素の同時測定。配線膜、メッキなどの厚膜の
測定が可能です。

X-RAY
 
測定試料

* サンプルの形状に依存しない手置き式ステージ設計で、300mmまのでウエーハ、
200mm x 200mm までのリジット及びフレキシブルな基板に対応できます。

* 樹脂素材、フィルムから不定形なサンプルまで他種に対応できます。

 
高いコストパフォーマンス

* 膜厚測定装置の新規導入やリプレイスに最適な価格設定です。

* 必要最低限のX線ユニットで初期イニシャルコストを低減します。

* 納入後のX線ユニット増設も可能です。

 
X線反射率(XRR) Unit

* 最大3つのX線ユニットの選択が可能です。

* 金属膜や透明膜など 膜厚・密度の絶対値を測定します。

* 多層膜の膜厚・密度を測定します。

* 非破壊・非接触測定です。

XRR
 
蛍光X線(XRF) Unit

* 金属膜の膜厚を短時間で測定します。

* 化合物の組成比を測定します。

* 膜厚と組成同時測定が可能です。

XRF
 
斜入射蛍光X線(GIXRF) Unit

* 積層膜などを分離し膜厚・組成比を測定します。

* 超薄膜を精度よく測定します。

* 膜厚・組成同時測定が可能です。

GIXRF
 
オプション

* オプションカメラを搭載すれば、小径サンプル、不定形サンプルなどでも的確にX線を照射することが
できます。

 
ソフトウェア

* Windowsベースの解析ソフト標準搭載。
データベースから平均値、CV値などの 統計処理を行い、自動レポート作成を行うなど多彩な機能を持って
おります。
多点測定などでサンプル均一性なども標準搭載のマッピングソフトで簡単に編集できます。

 
 
項目 仕様
X線管球 水冷式封入管X線管球
測定スポットサイズ 1~20mm
検出器 半導体検出器(液体窒素不要)
測定ステージ ~300mmφ、 ~200mm角、自動マッピング機能
測定サンプル厚さ ~10mm
サンプル高さ調整 レーザー調整機構
サンプル位置合わせ カメラ(オプション)、ポジション選択
測定制御・解析 ソフト 開発品ソフト
オプション特殊解析ソフト XRR理論パラメータフィッテングソフト、FPソフト
装置サイズ 1.1m²
電力 AC200V,  20A
冷却水 0.25~0.35MPa,  5L/min
測定ステージ用真空 -65kPa,  20NL/min
 
 
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